摘要：薄膜真空计是一种可用作真空压力计量标准器的精密测量仪器，量程为0.01～10000Pa～200kPa，测量精度有0.5（金属薄膜规）、0.25（手持式陶瓷电容规）、0.1（标准型陶瓷电容规）级，其特点是测量精度高、有效线性量程宽、计量可重复性好、测量与气体成分无关、不易污染、长寿命、抗腐蚀。是电阻真